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Analytische und numerische Modellbildung zur Vermeidung von Rückströmungen aufgrund von Störgrößen in Reinräumen
Brandt, Stefan
In der vorliegenden Arbeit werden Funktionen und Berechnungen von Rückströmungen aufgrund von Zustandsänderungen der Volumenstromstellglieder in Reinräumen dargestellt. Die Zustandsänderungen werden in aktive und passive Störgrößen unterteilt. Ausgehend von den Ergebnissen der Untersuchungen werden Berechnungsvorschriften zum Auftreten von Rückströmungen aufgrund von Störgrößen in Reinräumen bei Überdruck erstellt.
In the present work functions and calculations of backflows due to changes in the state of the volume flow control elements in clean rooms is shown. The change of state is divided into active and passive disturbances. The results of the investigations are used to create calculation specifications in clean rooms.
