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Main Title: Analytische und numerische Modellbildung zur Vermeidung von Rückströmungen aufgrund von Störgrößen in Reinräumen
Translated Title: Analytical and numerical modelling to avoid reverse backflows due to disturbances in clean rooms
Author(s): Brandt, Stefan
Advisor(s): Kriegel, Martin
Referee(s): Kriegel, Martin
Schmidt, Michael
Granting Institution: Technische Universität Berlin
Type: Doctoral Thesis
Language Code: de
Abstract: In der vorliegenden Arbeit werden Funktionen und Berechnungen von Rückströmungen aufgrund von Zustandsänderungen der Volumenstromstellglieder in Reinräumen dargestellt. Die Zustandsänderungen werden in aktive und passive Störgrößen unterteilt. Ausgehend von den Ergebnissen der Untersuchungen werden Berechnungsvorschriften zum Auftreten von Rückströmungen aufgrund von Störgrößen in Reinräumen bei Überdruck erstellt.
In the present work functions and calculations of backflows due to changes in the state of the volume flow control elements in clean rooms is shown. The change of state is divided into active and passive disturbances. The results of the investigations are used to create calculation specifications in clean rooms.
URI: https://depositonce.tu-berlin.de//handle/11303/8048
http://dx.doi.org/10.14279/depositonce-7209
Exam Date: 27-Apr-2018
Issue Date: 2018
Date Available: 30-Jul-2018
DDC Class: 620 Ingenieurwissenschaften und zugeordnete Tätigkeiten
Subject(s): Störgrößen
Reinraum
Rückströmungen
Druckdifferenz
instationäe Effekte
disturbance
cleanroom
reverse flow
pressure difference
transient effects
License: https://creativecommons.org/licenses/by-sa/4.0/
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