Energiedispersive Mikro-Röntgenfluoreszenzanalyse technischer Mikrostrukturen

Bremekamp, Marcel

Energiedispersive Mikro-Röntgenfluoreszenzanalyse technischer Mikrostrukturen

dc.contributor.advisor	Kanngießer, Birgit
dc.contributor.author	Bremekamp, Marcel
dc.contributor.grantor	Technische Universität Berlin	en
dc.contributor.referee	Kanngießer, Birgit
dc.contributor.referee	Unger, Wolfgang
dc.contributor.referee	Beckhoff, Burkhard
dc.date.accepted	2017-10-09
dc.date.accessioned	2017-11-30T10:07:37Z
dc.date.available	2017-11-30T10:07:37Z
dc.date.issued	2017
dc.description.abstract	Im Rahmen dieser Arbeit wurde ein FP-basiertes Voxelmodell entwickelt, das die Geometrieeffekte in der μ-EDRFA von Mikrostrukturen berücksichtigt und die Quantifizierung der Fluoreszenzintensitäten ermöglicht, die von diesen Mikrostrukturen emittiert werden. Zu diesem Zwecke wurde eine experimentelle Charakterisierung des Spektrometers bezüglich der spektralen Verteilung der Anregungsstrahlung mittels Reinelementproben und der Messfleckabmessung über Fluoreszenzkantenmessungen durchgeführt. Diese Charakterisierung wurde anschließend dazu verwendet, um eine spektrometerspezifische Modellierung der Anregungsstrahlung der Probe zu entwickeln. Um die Fluoreszenzerzeugung komplexer Probengeometrien zu berechnen, wurde das Probenvolumen diskretisiert und eine numerische Integration über die im Probenvolumen entstehende Fluoreszenzstrahlung durchgeführt. Zur Parametrisierung einer Vielzahl verschiedener komplexer Probenoberflächen wurden sogenannte Superquadriken verwendet, deren Inside-Outside-Funktionen zur Abstandsbestimmung mittels Raytracing dienten. Zur Überprüfung des Modellierungsansatzes wurden Validierungsmessungen an speziell hergestellten Testmikrostrukturen durchgeführt und die experimentell ermittelten Fluoreszenzintensitäten mit den berechneten Fluoreszenzintensitäten verglichen.	de
dc.description.abstract	In the scope of this work a FP-based voxel model was developed taking geometry effects into account which arise in μ-EDXRF of technical microstructures and enabling the quantification of fluorescence intensities, which are emitted by these microstructures. For this purpose the spectrometer was characterized with respect to the excitation spectrum, using pure element samples, and the beam profile, using the knife-edge technique. This characterization was used afterwards for a spectrometer specific modelling of the fluorescence intensity, which is produced inside the sample. In order to calculate fluorescence intensities emitted by complex sample geometries the sample volume was discretized and a numerical integration of the fluorescence intensity of the single voxels was done. For parametrization of a great amount of complex sample surfaces so called superquadrics were used, whose inside-outside function served to calculate distances in regard to the sample using raytracing methods. In order to verify the proposed modelling approach, validation measurements were performed on dedicatedly produced testing microstructures and the experimentally determined fluorescence intensities were compared with the calculated ones.	en
dc.identifier.uri	https://depositonce.tu-berlin.de/handle/11303/7230
dc.identifier.uri	http://dx.doi.org/10.14279/depositonce-6506
dc.language.iso	de	en
dc.rights.uri	http://rightsstatements.org/vocab/InC/1.0/	en
dc.subject.ddc	530 Physik	de
dc.subject.other	energiedispersive Röntgenfluoreszenzanalyse	de
dc.subject.other	Sherman-Gleichungen	de
dc.subject.other	Modellierung	de
dc.subject.other	Simulation	de
dc.subject.other	Mikrostrukturen	de
dc.subject.other	XRF	en
dc.subject.other	simulation	en
dc.subject.other	micro structures	en
dc.subject.other	µ-XRF	en
dc.subject.other	µ-RFA	en
dc.subject.other	energy dispersive x-ray fluorescence analysis	en
dc.subject.other	Sherman equation	en
dc.title	Energiedispersive Mikro-Röntgenfluoreszenzanalyse technischer Mikrostrukturen	de
dc.title.translated	Energy dispersive x-Ray fluorescence analysis of technical micro structures	en
dc.type	Doctoral Thesis	en
dc.type.version	acceptedVersion	en
tub.accessrights.dnb	free	en
tub.affiliation	Fak. 2 Mathematik und Naturwissenschaften::Inst. Optik und Atomare Physik::FG Analytische Röntgenphysik	de
tub.affiliation.faculty	Fak. 2 Mathematik und Naturwissenschaften	de
tub.affiliation.group	FG Analytische Röntgenphysik	de
tub.affiliation.institute	Inst. Optik und Atomare Physik	de
tub.publisher.universityorinstitution	Technische Universität Berlin	en

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