Röntgenemission aus laserinduzierten Plasmen

Vogt, Ulrich

Röntgenemission aus laserinduzierten Plasmen

dc.contributor.advisor	Stiel, Holger	en
dc.contributor.author	Vogt, Ulrich	en
dc.contributor.grantor	Technische Universität Berlin, Fakultät II - Mathematik und Naturwissenschaften	en
dc.date.accepted	2002-09-10
dc.date.accessioned	2015-11-20T15:07:53Z
dc.date.available	2002-11-18T12:00:00Z
dc.date.issued	2002-11-18
dc.date.submitted	2002-11-18
dc.description.abstract	Die vorliegenden Arbeit befasst sich mit der spektralen Charakterisierung der Röntgenemission aus laserinduzierten Plasmen bei verschiedenenen Targetmaterialien und Targetsystemen. Untersucht wird insbesondere der Einfluss der beiden Laserparameter Intensität und Pulsdauer auf die Emission. Diese wurden über einen weiten Bereich variiert. Motivation für die grundlegenden systematischen Messungen ist dabei die Anwendung eines Laserplasmas als Laborröntgenquelle für die Lithographie oder Spektroskopie. Die Messung der Spektren erfolgte mit teilweise absolut kalibrierten Spektrometern, die die Grundlage für das absolute Messen von Photonenzahlen darstellen und die die Bestimmung einer Konversionseffizienz von Laser- in Röntgenlicht ermöglicht. Zwei Kapitel dieser Arbeit widmeten sich Untersuchung von Quellen für die EUV-Lithographie bei 13 nm Wellenlänge. Erste Messungen wurden an einem Wasserstrahl-Target durchgeführt. Die Emission im EUV-Bereich stammt dabei von Sauerstoffionen. Die Untersuchungen konzentrierten sich dabei auf eine Maximierung der Konversionseffizienz und die Frage, ob ein dünner Jet als Target für einen Laser hoher mittlerer Leistung geeignet ist. Mit dem MBI-burst-mode Laser als Modellsystem für einen solchen Laser konnte gezeigt werden, dass ein Flüssigkeitsstrahl die Anforderungen erfüllt. Durch eine Variation der Pulsdauer und der Energie des Lasers konnte ein Bereich von drei Größenordnungen in der Intensität überstrichen werden. Den höchsten Effizienzwert erhält man mit ns-Pulsen und einer Intensität von 10^12 W/cm^2, dabei ist der optimale Intensitätsbereich relativ eng definiert. Als weiteres Targetmaterial wurden Xenon-Cluster untersucht. Anders als beim Wasserjet zeigte sich, dass das Target in einem relativ großen Intensitäts- und Pulsdauerfenster mit hohen Konversionseffizienzen betrieben werden kann. In einem weiteren Kapitel ist die Charakterisierung eines Laserplasmas als Lichtquelle für ein Röntgenabsorptionsspektrometers beschrieben. Das Festkörper-Targetmaterial Kupfer stellte sich als geeignet heraus, was in ersten Messungen zur Röntgenabsorption dokumentiert werden konnte. In Experimenten mit einem Gold- und Kupfertarget bzw. einem Gallium-Jet-Target, beschrieben im letzten experimentellen Kapitel dieser Arbeit, konnte gezeigt werden, dass kHz-fs-Laser für die Erzeugung harter Röntgenstrahlung (charakteristischer K-Strahlung und Bremsstrahlung) geeignet sind. Um eine möglichst hohe Photonenausbeute zu bekommen, muss wieder eine Optimierung der Laserintensität erfolgen. Diese Quellen sollen für die zeitaufgelöste Röntgendiffraktion eingesetzt werden.	de
dc.identifier.uri	urn:nbn:de:kobv:83-opus-4373
dc.identifier.uri	https://depositonce.tu-berlin.de/handle/11303/832
dc.identifier.uri	http://dx.doi.org/10.14279/depositonce-535
dc.language	German	en
dc.language.iso	de	en
dc.rights.uri	http://rightsstatements.org/vocab/InC/1.0/	en
dc.subject.ddc	530 Physik	en
dc.subject.other	EUV-Lithographie	de
dc.subject.other	Laserinduzierte Plasmen	de
dc.subject.other	NEXAFS-Spektroskopie	de
dc.subject.other	Röntgendiffraktion	de
dc.subject.other	EUV-Lithographie	en
dc.subject.other	Laser-induced plasmas	en
dc.subject.other	NEXAFS-Spectroscopy	en
dc.subject.other	X-ray diffraction	en
dc.title	Röntgenemission aus laserinduzierten Plasmen	de
dc.title.subtitle	Einfluss von Laserintensität und Pulsdauer bei verschiedenen Targetsystemen	de
dc.title.translated	X-ray emission from laser-induced plasmas	en
dc.title.translatedsubtitle	influence of laser intensity and pulse duration for different target systems	en
dc.type	Doctoral Thesis	en
dc.type.version	publishedVersion	en
tub.accessrights.dnb	free	*
tub.affiliation	Fak. 2 Mathematik und Naturwissenschaften	de
tub.affiliation.faculty	Fak. 2 Mathematik und Naturwissenschaften	de
tub.identifier.opus3	437
tub.identifier.opus4	442
tub.publisher.universityorinstitution	Technische Universität Berlin	en

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